臭氧監測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，
臭氧監測儀用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
臭氧是氧氣的同素異形體，它是一種具有特殊氣味的淡藍色氣體。分子結構呈三角形，鍵角為116°，其密度是氧氣的1.5倍，在水中的溶解度是氧氣的10倍。臭氧是一種強氧化劑，它在水中的氧化還原電位為2.07V，僅次于氟（2.5V），其氧化能力高于氯（1.36V）和二氧化氯（1.5V），能破壞分解細菌的細胞壁，很快地擴散透進細胞內，氧化分解細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶等，也可以直接與細菌、病毒發生作用，破壞細胞、核糖核酸（RNA），分解脫氧核糖核酸（DNA）、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的代謝和繁殖過程遭到破壞。
臭氧監測儀保養的詳細步驟
一、臭氧監測儀外表擦拭步驟：
1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。
2.再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面。
二、臭氧監測儀顯示屏擦拭步驟：
1.先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。
2.再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去。
3.鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。
三、v轉動部分擦拭步驟：
1.先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。
2.也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
3.必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或潤滑油，擦拭磨擦表面。
